ＴＳＭＣの２０ナノの旧型半導体工場には、５千億円出したのに。新型半導体の国産化を目指す企業にはこれだけ（ラピダス、５兆円必要と見積もられ）。 超微細半導体ラインに必要な、露光装置が十分確保できるかもカギ。 次世代半導体、５年後生産　国が７００億円支援